服务项目

悬浮气态污染物控制

上羽,针对半导体、电子、化工产业中,提出改善方案与问题解决。

AMC是气体性分子污染物,随着制程的紧缩,28nm以下的制程,对于AMC的防范标准更为严格。传统的检测通常仅针对酸、碱物质,而在现今的检测项目上,延伸至有机的物质。 SEMI 对于AMC的控制有四大项目:MA(酸蒸气)、MB(碱蒸气)、MC(凝结物质)及MD(掺杂物质),而这四种物质会透过外气或者是厂区内本身的挥发物,对产品进行损害及影响,因此在制程微缩的时代,AMC的控制更为重要。