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懸浮氣態汙染物控制
上羽針對半導體、電子、化工產業中的AMC 問題，提出改善方案與問題解決。
AMC是氣體性分子汙染物，隨著製程的緊縮，28nm以下的製程，對於AMC的防範標準更為嚴格。傳統的檢測通常僅針對酸、鹼物質，而在現今的檢測項目上，延伸至有機的物質。
SEMI 對於AMC的控制有四大項目:MA(酸蒸氣)、MB(鹼蒸氣)、MC(凝結物質)及MD(摻雜物質)，而這四種物質會透過外氣或者是廠區內本身的揮發物，對產品進行損害及影響，因此在製程微縮的時代，AMC的控制更為重要。